单价超19亿 Intel下单订购首台ASML最先进EUV光刻机

1月19日最新消息，Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻机。TWINSCAN EXE:5200是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）。从路线图来看，EXE:5200预计最快2024年底投入使用，2025年开始大规模应用于先进芯片的生产。